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更新时间：2025-03-21
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原装供应Osaka Vacuum大阪真空磁浮轴承式复合分子泵TG1300M
■ 灵活的安装姿势 ■ 紧凑的尺寸 ■ 节能 ■ 快速启动和停止 ■ 维修电话 ■ 低振动 ■ 免调音 ■ 自动校准 ■ 转速控制 ■ 大流量排气 ■ 各种通信规格 ■符合安全标准 NRTL/SEMI-S2/CE ・半导体制造 ・电子枪排气、离子源排气 ・FPD 制造 ・表面处理、表面改性 ・各种电子元件的制造 ・分析、检测设备 ・管材、光学元件的制造 ・加速器、放射线设施、聚变研究 ・热处理 ・研发
| 进气法兰 | VG200 CF200 ISO-B200 型 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1300 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 1230 | |
| H2 （升/秒） | 1200 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1,5×10%4 | |
| 极限压力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG・ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 3000 |
| 启动时间 | （分钟） | 4~5 |
| 停机时间 | （分钟） | 4~5 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 500 / 3.8 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧250 |
| 安装姿势 | 自由 | |
| 重量 （kg） VG/ISO-B/CF | 34 / 42 | |
| 控制器类型 | TC010MA | |
| 特殊规格 | -化学型 - 对应反应产物 TG-MI - 超低振动规格 TG-ML - 超高真空型 TG-MU - 耐辐射型 TG-MR | |
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