原装KASHIYAMA樫山工业MU20N18X节能干式真空泵

原装KASHIYAMA樫山工业MU20N18X节能干式真空泵

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能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。

采用立式螺杆和特殊材料的高耐腐蚀性、采用的单螺杆形状实现节能、多样化的产品线可满足所有流程

多种温度变化可满足多种工艺需求，并通过20000L/min等级比本公司减少35%的足迹新的加热器系统进一步提高工艺耐用性

符合各种要求规格的产品规格以安全标准和安全设计为首要任务的高可靠性设计

DX节能/严酷工艺兼容机、SDT/SDH耐工艺/超严酷工艺兼容机
不使用N2吹扫时的值。 最终运行时功耗的近似值。 封装尺寸。请索取外部图纸以了解详细尺寸。