LEGEXSILIIZ是分析和排除误差因素的超高精度CNC三维测量机
主体压板部为实现高刚性、高衰减性,严格选用材料,采用密闭结构。此外,使用FEM结构分析模拟进行应力分析,保证因载荷变动等引起的变形达到最小限度的几何运动精度。此外,为了实现超高精度,还投入了多种技术,如驱动部的结构、振动对策等。
、位置检测用测长单元包括热膨胀系数÷0的超高精度结晶化玻璃轮廓器和高分辨率的高性能反射型线性编码器的组通过配合,搭载了超高精度测长单元(本公司制造),可实现具有位置检测能力的超高精度机床控制
超高精度机的安装环境需要恒温室等级,但通过温度修正功能,能够在广泛的温度环境下保证精度。
为了支持简单、高精度的测量,我们准备了探针(接触型、非接触型)、数据处理装置等多种选项