日本原装EBARA 荏原干式真空泵ESA500W

型号 ESA 干式真空泵，可排出氢气等轻质气体，可对大腔室进行高速排气 用于高速排气的大型真空室 有机溶剂兼容选项 氢气等轻质气体的排放 耐腐蚀材料选项 油 提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 研究设备的理想选择 特定化学物质的吸附

ESA 型号阵容包括排量为 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型号，适用于排气氢气等轻质气体，以及排量为 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型号，适用于大室的高速排气。 适用于低于 10,000 L/min 的轻型气体排放，提供紧凑的设计和耐腐蚀材料选项，使其成为 MO-CVD 等高流量轻型气体排放应用的理想选择。 大型型号尽管排量大，但仍能实现安静的噪音和低振动，并且可以选择排出有机溶剂的选项，使其成为 LCD 溅射设备、真空干燥工艺、大负载锁等的理想选择。