转子设计和怠速功能,实现节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
特长
通过宽范围温度控制实现广泛的工艺覆盖
节能·省空间
应对腐蚀性气体(标准采用耐腐蚀材料)
对应应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等
我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机
SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮
NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽