Osaka Vacuum大阪真空磁浮轴承式复合分子泵TG1307M

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新型磁浮轴承型涡轮分子泵 TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特点 省电设计 运行数据、触地计数、型号信息等可以存储在主机中 * 即使在大修期间更换控制器，也可以传输数据。 各种通信规格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT 国际标准：NRTL/SEMI-S2/CE 半导体制造设备 FPD 制造设备 太阳能电池制造设备 玻璃和镜头等光学元件的加工 薄膜加工 加速器/空间环境试验设备