ACCRETECH东京精密坐标测量机ZEISS PRISMO

由于安装了超高分辨率栅尺和各种技术，可最大限度地减少温度变化对测量结果的影响，从而实现了 E0， MPE = 0.5+L/500 μm 的高精度。

蔡司 PRISMO® 系列的最高分辨率 0.02 μm 栅尺安装在每个轴上。 此外，栅尺材料是 Zerodur®，它具有极低的热膨胀系数，可最大限度地减少环境温度变化对精度的影响。

FineCAA 用于通过将导轨分成 64 个网格来补偿导轨的直线度误差。 此外，“张量校准"用于通过在校准时改变测量力并多次探测同一零件来确定测针或校准球体的偏转程度，从而消除测量结果中的偏转误差，以实现高精度测量。