灵活的安装姿势 ■ 紧凑的尺寸 ■ 节能 ■ 快速启动和停止 ■ 维修电话 ■ 低振动 ■ 免调音 ■ 自动校准 ■ 转速控制 ■ 大流量排气 ■ 各种通信规格 ■符合安全标准 NRTL/SEMI-S2/CE 用 ・半导体制造 ・电子枪排气、离子源排气 ・FPD 制造 ・表面处理、表面改性 ・各种电子元件的制造 ・分析、检测设备 ・管材、光学元件的制造 ・加速器、放射线设施、聚变研究 ・热处理 ・研发
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