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更新时间：2025-08-12
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日本进口Osaka Vacuum大阪真空TG1400F涡轮分子泵
日本进口Osaka Vacuum大阪真空TG1400F涡轮分子泵
■ 灵活的安装姿势 ■ 紧凑的尺寸 ■ 节能 ■ 快速启动 ■ 结构耐大气层侵入 ■ 可进行串行通信 ■符合安全标准 NRTL/SEMI-S2/CE 用 ・半导体制造 ・电子枪排气、离子源排气 ・FPD 制造 ・表面处理、表面改性 ・各种电子元件的制造 ・分析、检测设备 ・管材、光学元件的制造 ・加速器、放射线设施、聚变研究 ・热处理 ・研发 * 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。
| 型 | TG1400F | |
| 进气法兰 | VG200/ISO-B200/CF200 标准 | |
| 排气速度 | N2 （长/秒） | 1400 |
| N2（带保护丝网） （长/秒） | 1300 | |
| H2 （长/秒） | 750 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 达到压力 | （宾夕法尼亚州/托尔） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大气体流量※1 | （SCCM） | 450 |
| 启动时间 | （分钟） | 5.5-7 |
| 停机时间 | （分钟） | 15-18 |
| 允许辅助压力 | （宾夕法尼亚州/托尔） | 330/2.5 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | ≧250 |
| 安装位置 | 自由 | |
| 质量 | VG/ISO-B/CF （公斤） | 29/30 |
| 控制器型号 | TC1103型 | |
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