EBARA 荏原ESR20N节能型干式真空泵
EBARA 荏原ESR20N节能型干式真空泵
转子设计和怠速功能,实现节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
特长
通过宽范围温度控制实现广泛的工艺覆盖
节能·省空间
应对腐蚀性气体(标准采用耐腐蚀材料)
对应应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等
型 | 单位 | ESR20N | ESR30型 | ESR30N | ESR500W(N) | |
冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
温度 | °C | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
权力 | 功率容量 | 千伏 | 4 | 7 | 7 | 12.3 |
排气速度 | 升/分钟 | 1,300 ~ 2,000 | 3000 | 3000 | 46000 | |
达到压力 | 帕 | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
连接口径 | 进气 | NW40 | 西北50 | 西北50 | ISO160 认证 | |
排气口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
达到压力时的近似功率。 | 千瓦 | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
400V 型号 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
原理图质量 | 公斤 | 90 | 190 | 190 | 500 |