咨询热线

13693291657

ARTICLES

技术文章

当前位置:首页技术文章节能和小型化ESR20N节能型干式真空泵

节能和小型化ESR20N节能型干式真空泵

更新时间:2025-08-13点击次数:117

EBARA 荏原ESR20N节能型干式真空泵

EBARA 荏原ESR20N节能型干式真空泵

转子设计和怠速功能,实现节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用,从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。

特长
通过宽范围温度控制实现广泛的工艺覆盖
节能·省空间
应对腐蚀性气体(标准采用耐腐蚀材料)
对应应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等



单位ESR20NESR30型ESR30NESR500W(N)
冷却水流量升/分钟2~83.5~83.5~83.5~8
温度°C最多 30最多 30最多 30最多 30
权力功率容量千伏47712.3
排气速度升/分钟1,300 ~ 2,0003000300046000
达到压力20.530.670.2
连接口径进气
NW40西北50西北50ISO160 认证
排气口
NW40NW40NW40NW40
达到压力时的近似功率。千瓦0.71.71.73.1
N2流量Pa•m3/s19~22 (0)19~22 (3.4)19~22 (3.4)19~22 (3.4)
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
原理图质量公斤90190190500


联系我们
Copyright © 2025北崎国际贸易(北京)有限公司 All Rights Reserved    备案号:京ICP备17005343号-7
技术支持:化工仪器网    管理登录    sitemap.xml