用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器MC-5580C

用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器MC-5580C

用于半导体工艺的高性能质量流量控制器 EtherCAT 通信版本。 它符合 SEMI 标准，可以通过 EtherCAT 通信进行控制，该通信用于半导体制造设备运输系统中的高速传输。

它配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和 Lintec 环境温度补偿流量传感器作为标准配置，并且可以作为选项添加，例如用于液化气。

长处 精度±1%S.P. 金属密封件 清洁（保证颗粒） 环境温度保证传感器 EtherCAT 通信 选择 微流量 F.S. 与液化气兼容 宽 使用示例 EtherCAT 通信设备的统一通信 越来越多的半导体制造设备配备了 EtherCAT 通信（数字 I/F），用于对机器人手臂等运输系统进行高速控制。 EtherCAT 通信有 65,536 个节点，MFC 的所有测量和运动元件都可以通过 EtherCAT 通信统一。