ULVAC爱发科VLP-SA025KF真空角阀采用金属硬密封结构

ULVAC爱发科VLP-SA025KF真空角阀采用金属硬密封结构，漏率低至1×10⁻⁹ mbar·L/s，可稳定维持超高真空环境。阀体材质选用耐腐蚀的SUS304不锈钢，配合镍基合金波纹管，确保在150℃烘烤工况下仍保持优异性能。其直角式设计提供L型流道，压损系数小于0.8，特别适合需要快速气体切换的半导体工艺场景。驱动系统支持24V DC气动控制，响应时间仅0.5秒，阀板表面镜面抛光处理（Ra≤0.4μm），配合氟橡胶密封圈，实现超过50万次的开关寿命。接口标准为KF16快装法兰，兼容ISO-KF和NW16两种连接方式，背压耐受能力达0.1MPa，满足复杂真空系统的多工况需求。模块化设计支持手动应急操作，在断电情况下可通过手轮实现阀位切换，维护时无需拆解系统^^1^^2^^。 ULVAC爱发科VLP-SA025KF真空角阀凭借其超高密封性能和快速响应特性，成为半导体制造、真空镀膜等精密工艺领域的理想选择。其金属硬密封结构可有效维持1×10⁻⁹ mbar·L/s的极限真空度，特别适用于晶圆蚀刻、薄膜沉积等对洁净度要求严苛的工艺环节，能避免传统橡胶密封导致的微粒污染问题^^1^^2^^。在真空镀膜设备中，该阀的直角式流道设计可实现气体介质的快速切换，配合0.5秒的响应速度，能精准控制镀膜腔室的气体成分比例，显著提升薄膜均匀性^^3^^。此外，其耐高温特性使该阀成为CVD（化学气相沉积）工艺的关键组件，可在150℃烘烤环境下长期稳定运行，避免因热变形导致的密封失效^^1^^。对于需要频繁气体交换的实验室真空系统，该阀超过50万次的开关寿命和模块化维护设计，大幅降低了设备停机风险^^2^^。在光伏电池生产线上，其KF16快装接口能快速匹配不同规格的真空管路，而背压耐受能力则确保了工艺气体排放时的系统稳定性^^1^^2^^。该阀还广泛应用于电子束蒸发、离子注入等需要超高真空环境的设备中