极限真空长期达不到，你是否掌握 EBARA 干式真空泵正确运行操作流程？

一、上电启动前全面预检（新机就位、长期停机重启必执行）

1. 整机与安装检查

   断电状态作业。确认泵体水平稳固，减震脚垫完好；壳体无磕碰、管路法兰密封完好；排气管道通畅，禁止排气封堵形成背压。

2. 进气系统核查

   进气阀门保持关闭；前端过滤器完好无破损；粉尘、溶剂工况确认阻液装置装配到位，防止液体、固体颗粒吸入泵腔。

3. 冷却与吹扫气检查

   风冷机型确认散热风道无堵塞；水冷机组核对冷却水流量、进出水通畅；配置氮气吹扫接口的机型，提前确认吹扫气压力、管路无泄漏。

4. 电气确认

   接线牢固，相序无误；接地可靠；控制信号线路无挤压破损。

二、标准启动与带载运行流程

1. 完成全部检查，确认进气主阀关闭，执行空载启动；

2. 持续泵体声响，观察电机电流、振动情况，空载稳定运行 5～10 分钟；

3. 空载无异常后，缓慢开启进气阀门，禁止瞬间全开，避免大气冲击造成负载骤增；

4. 持续观测真空度变化、泵体排气温度，达到工艺真空后稳定运行；

5. 定时巡检过滤器压差，压差上升代表滤芯堵塞，择机停机更换。

三、产线运行期间管控要点

1. 自动化运行中，禁止快速反复开关真空阀，气流冲击易加剧转子磨损；

2. 密切监控排气温度，长期超温会加速内部密封老化；

3. 工艺释放大量溶剂蒸汽时，按需投入氮气稀释吹扫，避免介质在泵内冷凝沉积；

4. 避免短时间频繁启停，反复启动冲击电机与转子轴承。

四、标准化停机操作（极易踩坑环节）

1. 先关闭腔体进气阀，隔离真空系统；

2. 根据工艺需求通入干燥氮气进行泵腔吹扫，带走残留挥发性介质；

3. 执行停机指令，等待转子停止；

4. 不可立刻切断冷却系统，持续冷却一段时间再关停水冷 / 风机，防止余热滞留造成部件老化；

5. 短期停机保持管路密封；停机超过 72 小时，做好防尘、防潮保护。

五、操作红线（严格禁止）

1. 进气阀全开带载强行启动真空泵；

2. 液体、大量粉尘无前置过滤直接吸入泵内；

3. 停机后马上关闭冷却系统；

4. 排气管道堵塞、背压超标长期运行；

5. 腐蚀性、可凝性气体工况不启用氮气吹扫；

6. 出现异响、剧烈振动、超温报警依旧持续生产。

六、简易故障快速判断