FLUORO 福乐真空吸盘依托高纯氟树脂、导电 PEEK 等低析出材料,具备防静电、耐强腐蚀、镜面无痕吸附的特性,区别于普通工业吸盘,主打精密薄片、脆性工件的无尘无损拾取,广泛应用于制造多个领域,覆盖干法无尘与湿法药液加工工况。
半导体制造(核心应用领域)
作为福乐吸盘最主要应用行业,适配 5/6/8/12 英寸硅晶圆、碳化硅、化合物半导体基板转运。可用于晶圆湿法清洗、蚀刻、显影、去胶、镀膜、划片、封装、检测等工序。导电款有效疏导静电,避免器件击穿;PTFE 耐腐蚀款可耐受酸碱、有机溶剂,适配药液浸泡工位,均匀分散负压,防止超薄晶圆崩边、表面光刻层划伤,满足百级、千级洁净室规范。
光学与显示行业
适用于超薄光学玻璃、石英基板、光学滤光片、镜头镜片、蓝宝石外延片、显示面板薄片的取放组装。吸盘接触面经过镜面抛光,摩擦产尘量低,可保护镀膜层不受划痕损伤,广泛用于光学镀膜、镜头组装、面板检测、切割上下料等工序,解决薄片易碎裂、易污染的痛点。
光伏与新能源行业
用于光伏硅片、薄膜电池基板、陶瓷载板、柔性薄片等物料转运。针对薄型脆性硅片,依靠分布式负压实现柔和吸附,避免压裂工件;耐高温材质可适配部分热处理前后的上下料操作,满足新能源产线洁净管控要求。
精密电子组装
应用于微型芯片、传感器基片、PCB 薄片、微型元器件的手工拾取与对位装配。防静电材质保护精密电子元件,模块化吸盘可快速更换,适配实验室小批量研发与产线批量组装,钟表、相机微型零件装配同样适用。
生物医药与科研实验室
用于生物芯片、载玻片、特殊薄膜样品、隐形眼镜等轻薄样品的无损转移。材料离子析出极低,不会污染实验样品,适配洁净实验室、理化分析、生物检测等场景;耐化学腐蚀特性,可配合各类实验试剂使用。