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为什么 METONE 可以精准区分 0.3μm 微粒,光散射原理介绍

更新时间:2026-10-21点击次数:20

METONE 尘埃粒子计数器核心采用激光光散射法,属于光学粒子计数器(OPC),依靠气流采样、激光照射、散射光采集、光电信号换算,同步完成悬浮尘埃颗粒的计数与粒径分级,广泛用于洁净车间、实验室、环境大气颗粒物监测场景Met One。

一、核心组件构成

整套传感单元主要包含:采样泵、流量控制模块、激光二极管、光学检测腔、聚光反射镜、光电二极管(PIN 探测器)、信号放大电路、MCU 数据处理单元;机型配备鞘气(Sheath Air)回路,用来保护光学镜片,同时约束样气,保证粒子单列有序通过激光探测区,避免粒子重叠造成误判Met One。

二、完整检测流程

  1. 定量采样内置隔膜泵以恒定流量抽取待测空气,样气经过限流、过滤稳压,匀速送入光学传感腔,流量稳定是浓度计算准确的基础,浓度单位以每立方英尺或者每升内颗粒数量统计。

  2. 激光照射产生散射单色激光束垂直穿过样气流道,当空气中单个尘埃颗粒穿过激光照射区域时,微粒对激光产生折射、反射,形成散射光。在颗粒材质相近前提下,颗粒粒径越大,散射光的光强越高,这是区分粒径的核心依据ManualsLib。

  3. 光学收集与光电转换反射镜将前向散射光汇聚到光电二极管,光电元件把光信号转换成电压脉冲信号:一个粒子对应一个脉冲,脉冲幅值大小对应颗粒尺寸。

  4. 信号甄别、分档计数主板电路对脉冲幅值进行识别,按照预设粒径通道(如 0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm)归类统计,分别记录不同档位颗粒数量;再结合采样流量换算,输出单位体积内的粒子浓度数值。

  5. 数据输出计算结果直接在屏幕显示,同时存储记录,可通过通讯接口上传至监控系统。部分 METONE 粉尘监测型号,还会通过内置算法,把粒子计数换算成 PM2.5、PM10 质量浓度。

三、鞘气技术原理(高精度型号)

洁净鞘气沿着光路、镜片表面形成保护层,待测样气被包裹在中心流束,粒子单行穿过激光区。一方面防止样气里粉尘附着、污染光学镜片,延长激光与传感器寿命;另一方面规避多颗粒同时经过光斑,降低重合误计数,提升小颗粒检测准确度,多用于半导体等高等级洁净室机型Met One。

四、技术特点与局限

优势:响应速度快、可实时在线监测、便携机型适配现场巡检,无需滤膜称重等待,快速反馈洁净等级。局限:光散射属于等效粒径,和颗粒折射率、颜色、形态相关;对于深色、高吸收材质颗粒,测量结果会出现偏差,遇到高浓度粉尘还容易发生颗粒重叠,造成计数偏低,超高浓度工况需要前置稀释装置。

五、典型应用场景

半导体洁净厂房、制药 GMP 车间、手术室、锂电无尘车间、环境大气 PM 监测、过滤器检漏验证等。


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