OSAKA 大阪真空各类真空泵技术原理解析

大阪真空（OSAKA VACUUM）以容积式、动量传输式真空设备为主，不同系列泵体原理差异明显，下面按主流机型分开说明。

一、涡轮复合分子泵（TG 系列，核心主力）

复合分子泵是大阪真空标志性产品，分为上层涡轮叶片 + 下层螺旋沟槽的复合结构，依靠动量交换实现抽气。高速旋转的叶片撞击气体分子，把气体分子从高真空侧推向排气侧；下方螺旋沟槽进一步压缩气体，拓宽可工作压力区间，相比普通涡轮分子泵，在几十 Pa 的中低真空也能稳定排气。磁悬浮版本依靠磁力悬浮转子，无机械接触，无油、振动极低；轴承款采用脂润滑滚珠轴承，支持任意角度安装，必须搭配前级泵使用，多用于镀膜、半导体刻蚀、分析仪器超高真空场景。

二、螺杆干式真空泵（DSP 系列）

属于无油容积式干泵，一对平行螺杆转子同步旋转，转子与壳体、转子之间保留微小间隙。转子转动时，密闭容积从吸气端逐步向排气端移动，容积持续变小，气体被压缩后排出。DSP 采用无同步齿轮结构，省去齿轮润滑油，整机无油，标配气镇、空冷设计，极限压力可达 0.5Pa，适合洁净工艺、含有微量水汽的制程，半导体、FPD 产线使用较多

三、多级罗茨干式真空泵（FR 系列）

同样是容积式干泵，多级罗茨转子串联排布，茧形转子同步旋转，转子之间不接触。气体依次经过各级转子逐级输送压缩，空冷结构无需冷却水，大气压附近抽速大，排气时间短。轴承与齿轮独立油腔，轴封隔离真空侧，避免油污染腔体，适合需要频繁破真空、大气导入的工艺场景

四、液环（水环）真空泵

依靠密封液（水、有机溶剂）作为工作介质，叶轮偏心安装在壳体内。叶轮旋转时，密封液在离心力作用下贴紧内壁形成一圈液环，叶片与液环之间形成密闭气腔；偏心结构让气腔容积随旋转周期性变大、变小，循环完成吸气、压缩、排气。可以处理水蒸气、可凝性有机溶剂气体，可搭配罗茨泵串联提升真空度，适合化工、干燥、负压输送工况；搭配大气喷射器还能改善极限真空、抑制气蚀

五、油扩散真空泵

属于动量传输型，无旋转机械部件。底部加热炉把真空油加热汽化，油蒸汽通过多级喷嘴以超音速向下喷射；吸气口侧的气体分子和高速油蒸汽碰撞，被裹挟向下输送，逐级压缩后交给前级泵抽走。油蒸汽碰到水冷内壁冷凝液化，回流到油锅重新蒸发循环。扩散泵不能直接排大气，必须配前级泵，用来获得超高真空，多用于真空镀膜、科研实验设备。

六、罗茨增压泵（RA 系列）

容积式增压泵，一对茧形转子反向同步旋转，转子不接触，依靠密闭容积输送气体。本身不能直接排大气，必须串联在前级泵（液环泵、滑阀泵、干泵）前面，提升整套机组抽速、提高极限真空 1~2 个数量级。自带压差旁通阀，压差超标时自动回流保护电机，适合大流量中真空工况。

七、油旋片真空泵

经典容积式泵，转子偏心布置，旋片依靠弹簧紧贴泵腔内壁，旋转时分隔出可变容积。容积扩大时吸气，容积缩小压缩气体，油气分离后排出。用油实现密封、润滑，成本低、结构简单，常作为分子泵、扩散泵的前级泵。