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COSMOS 新宇宙 XPS-7Ⅱ 便携式半导体特种气体检测仪

发布时间:2026/7/18点击次数:3

日本 NEW COSMOS 新宇宙(COSMOS)

设备全称:XPS-7Ⅱ 泵吸式半导体材料有毒气体检测仪

核心定位:半导体晶圆厂、电子化工车间专用剧毒特种气体泄漏巡检仪,主机通用,插拔式更换传感器探头即可切换检测气体,免本机校准,运维极简。

核心产品亮点

模块化插拔传感器

主机机身通用,仅更换XDS-7XX 系列传感模组,自动识别气体型号、量程、报警阈值,无需手动设置参数,单台仪器兼容数十种半导体工艺气体。

免整机校准

传感器模组出厂预标定,更换后直接开机使用,大幅减少现场校准工时与耗材成本。

分级声光报警

屏幕 4 位数字显示(ppb/ppm 单位自动切换)+ 柱状浓度条

低浓度:断续蜂鸣;浓度升高:鸣响频率加快;超标持续长鸣

三色指示灯:POWER 电源绿、TROUBLE 故障黄、ALARM 报警红,支持一级 / 二级两段报警

双供电 + 便携机身

供电:4 节 5 号 AA 干电池(续航≥12h),可选配 AC 电源适配器长期供电

尺寸:62×150×128mm,整机约 1.3kg,标配挂肩带,可手持巡检、挂身作业

数据存储导出

自带检测数据记录功能,可连接电脑读取巡检日志,便于车间溯源与台账管理。

内置微型气泵主动泵吸

自带吸气泵,可外接延长采样软管,远距离、狭小管路 / 设备缝隙隔空采样检漏。

典型应用场景

  1. 半导体晶圆制造、芯片封装洁净车间,硅烷、磷烷、砷化氢等特气柜、管道、阀门泄漏巡检;

  2. 光伏电池、电子元器件蚀刻 / 沉积工艺尾气与气源检漏;

  3. 化工实验室、危化库房有毒腐蚀性气体日常巡检;

  4. 废气处理设备后端尾气浓度简易监测。


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