北崎供应HORIBA堀场磷酸浓度监测仪CS-620F

# 2025年新品发布会#

日期：2025年2月11日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了HORIBA堀场磷酸浓度监测仪CS-620F

无需冷却即可实时测量高温磷酸的磷酸浓度监测仪。 非常适合控制半导体制造工艺中使用的磷酸浓度，主要是3D NAND闪存的SiN层*1 蚀刻工艺。 *1 SiN层：在硅晶片等上形成的硅和氮化合物的薄膜。

高浓度/高温兼容 循环管路中高浓度（高达92%）、高温（140-170℃）的磷酸无需冷却即可直接测量，因此无需冷却机构或冷却时间。 污染风险低 通过使用 PFA 作为样品连接部分，可以降低污染风险。 为了更快的反馈控制 每3秒更新一次测量数据的实时测量实现了高速浓度反馈控制。 减少设备停机时间 使用半年一次的背景校正周期可以减少设备停机时间。