咨询热线
13693291657
更新时间：2025-04-23
点击次数：13
# 2025年新品发布会#
日期：2025年4月23日
时间：8：30-18：30
近期我司新推出升级了原装现货EBARA 荏原ESR20N节能型干式真空泵
转子设计和怠速功能，实现节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用，从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。
特长
通过宽范围温度控制实现广泛的工艺覆盖
节能·省空间
应对腐蚀性气体(标准采用耐腐蚀材料)
对应应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等
| 型式 | 単位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 排気速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
| 到達圧力 | Pa | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 接続口径 | 吸気口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排気口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 到達圧力時電力概略値 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| 冷却水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 温度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 電源 相／電圧／周波数 | 200Vモデル | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
| 400Vモデル | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | kVA | 4 | 7 | 7 | 12.3 | |
| 概略質量 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 | |
首页
当前位置：
