适用于电极涂布‌和 真空干燥‌环节耐腐蚀设计可应对电解液挥发物‌ESR20N

# 2025年新品发布会#

日期：2025年9月27日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了适用于电极涂布‌和 真空干燥‌环节耐腐蚀设计可应对电解液挥发物‌ESR20N

• 用于 ‌SEM（扫描电子显微镜）‌ 和 ‌MOCVD（金属有机化学气相沉积）‌ 等工艺，处理腐蚀性气体时需耐腐蚀材料选件‌
  。

• 轻负荷应用如 ‌预真空锁‌ 和 ‌离子注入‌ 等场景‌。

2. ‌锂电池生产‌

• 适用于 ‌电极涂布‌ 和 ‌真空干燥‌ 环节，耐腐蚀设计可应对电解液挥发物‌。

3. ‌化工与腐蚀性工艺‌

• 处理 ‌酸性/碱性气体‌ 或 ‌有机溶剂‌ 时，可选配耐腐蚀转子涂层或特殊密封材料‌
  。

4. ‌节能与维护优势‌

• 转子设计优化降低能耗，空转功能减少待机功耗‌
  。

• 干式运行无需油润滑，减少污染风险，维护成本低‌
  。

如需具体参数或选型建议，可参考EBARA技术文档‌