ULVAC 爱发科CRYO - U16 的高负荷款双级 GM 冷冻低温泵

# 2026年新品发布会#

日期：2026年2月5日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了ULVAC 爱发科CRYO - U16 的高负荷款双级 GM 冷冻低温泵

核心产品优势

超大抽速与高负荷耐受：20℃下氮抽速 5000L/s、氢 10000L/s、水 16000L/s，氩大流量 1.6×10³Pa・L/s，极限压力达 10⁻⁷Pa（10⁻⁹Torr），可快速建立超高真空，适配高负荷工艺；氩排气容量 4.3×10⁸Pa・L，氢 2.4×10⁶Pa・L，耐热负荷强，减少再生频率，提升产线效率ulvac-cryo...。

无油清洁真空，保障工艺纯净：通过冷凝与吸附捕集气体，无油蒸气返流，避免晶圆、光学元件等精密产品污染，适配高洁净度要求的制造场景，降低不良率。

适配大中型设备，兼容性强：作为高负荷型号，适配大中型沉积、刻蚀等批量生产设备；双级 GM 冷冻机冷却，冷却时间约 120/110min（50/60Hz），可与多台压缩机联动，安装灵活，适配不同产线布局。

稳定可靠，维护成本可控：内置吸附剂与冷凝板设计，再生流程成熟，故障预警系统可监测运行状态；模块化结构便于检修，适配工业长时间连续运行，降低运维成本。

气体适配性广，覆盖多元需求：对水汽、氮、氩等冷凝性气体及氢等非冷凝性气体均有高效抽排能力，适配多气体混合的工艺环境，无需额外配置多种泵体，节省设备投入。

核心用途

半导体与微电子制造：用于晶圆溅射、CVD、刻蚀等设备，提供超高真空环境，保障薄膜沉积均匀性与电路性能，适配 12 英寸晶圆等大中型产线批量生产。

光伏与显示面板：光伏电池片镀膜、FPD（平板显示）大面积沉积工艺，快速抽排反应气体，提升镀膜效率与产品良率，适配大规模量产线。

光学与精密制造：光学镜片、激光元件等真空镀膜，无油真空避免镜片污染，保障光学性能，适配高精度光学器件生产与研发。

科研与材料研发：高校、科研机构的真空物理实验、超导材料制备、核聚变相关装置，提供洁净超高真空环境，助力前沿材料与技术研发。

航空航天与汽车：航空发动机部件真空热处理、汽车零部件 PVD 涂层，保障部件性能与使用寿命，适配制造领域严苛工艺要求。