更新时间:2026-10-20
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2026 年 09 月 12 日,日本东京 —— 日本高纯流体控制品牌 FLOWELL 正式对外发布新一代 PFA 隔膜阀系列产品,针对半导体、显示面板行业超高纯化学品输送场景,在微粒控制、隔膜耐用性与管路适配性上完成技术升级,面向全球市场同步开售。
作为 FLOWELL 核心主力产品,本次新一代隔膜阀延续品牌标志性无旋转下压驱动结构。阀门关闭过程中压头仅做垂直直线下压,隔膜与阀座之间不存在相对滑动摩擦,从根源减少微粒产生,满足晶圆制造等高洁净工艺严苛要求。
本次升级重点:
全新配方 PFA 隔膜:优化高分子材料配方,提升耐化学腐蚀能力,抗药液溶胀,隔膜疲劳寿命提升约 30%,降低产线更换频次与停机维护成本;
流道结构优化:阀体内部流道死角进一步减少,排空性能增强,减少药液残留、结晶附着风险,适配微量精密加药回路;
气动版本新增吸回功能可选:阀门关断瞬间产生微量负压,抑制药液滴漏,避免腐蚀性化学品污染设备腔体;
模块化设计:阀体、隔膜组件拆装更便捷,兼容原有管路接口,老产线改造无需大规模改动管线,降低项目改造成本。
FLOWELL 技术负责人介绍,半导体制造工艺不断迭代,对管路流体的微粒、金属离子污染控制要求持续提升。新一代隔膜阀在洁净度、耐腐蚀性、长期稳定性之间实现平衡,覆盖超纯水、各类强酸强碱、光刻配套药液输送等应用场景。产品同时提供手动、气动两大驱动类型,支持洁净车间自动化流体系统集成。
该新品系列现已开放样品申请,FLOWELL 将在后续行业展会中现场展示产品实物与性能测试数据,面向亚太、欧美半导体客户提供配套技术选型、安装调试与维保技术支持。