HORIBA堀场晶圆背面压力控制系统GR-300 GR-300系列对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微压差控制，还可以进行流量测量。

HORIBA堀场GR-511F晶圆背面压力控制系统 GR-511F 对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微小压力控制，还可以进行流量测量。

日本HORIBA堀场液体物料汽化系统MV-2000 这是一种汽化（气化）纯水和液体材料的汽化系统。采用龙卷风流方式的高效汽化，实现低温下的稳定汽化。该模型非常适合作为“液体材料：半导体工艺中使用的高k材料等”的稳定蒸发系统。通过设置用于载气控制的质量流量控制器和用于测量液体物料流量的质量流量计，完成高效的汽化系统。

北崎原装HORIBA堀场SEC-N100流量控制器 它是适用于各种行业和应用的通用型数字质量流量控制器，具有从 10 SCCM 到 1000 SLM 的宽流量控制范围，并且可以从数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link® 中选择通信方式、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。具有±1.0% SP的高精度，全量程1秒内快速响应，多量程/多气体功能。

原装供应HORIBA堀场流量控制器SEC-Z500X 数字质量流量控制器型号，配备多范围/多气体功能，允许用户更改气体类型和流量范围。