产品简介

进口HORIBA堀场EV2.0 HR等离子发射监测器
在半导体制造工艺中，等离子体技术被广泛应用于各种制造工艺中，包括薄膜沉积和蚀刻。
该等离子体发射监测仪可用于广泛的应用，从各种等离子体室的研发到生产线，例如工艺终点检测、状态管理和等离子体诊断。

进口HORIBA堀场EV2.0 HR等离子发射监测器

进口HORIBA堀场EV2.0 HR等离子发射监测器

您可以根据您的应用从高分辨率、宽范围和紧凑型这三种新开发的型号中选择最佳规格。此外，借助专用分析软件，我们可以满足广泛的需求，例如从微小的等离子体信号变化中检测精确的终点以及监测等离子体过程中的异常情况。

从 3 种型号中选择适合您的应用的型号

可直接连接至处理室窗口

先进的专用软件支持从研发到批量生产的广泛应用。

使用一台 PC 可同时测量多达 6 个腔室（6 个等离子体发射监测器）

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。