产品简介

COSMOS新宇宙XP-703DIII半导体气体检测仪
检测半导体材料气体的微小气体泄漏。

COSMOS新宇宙XP-703DIII半导体气体检测仪

COSMOS新宇宙XP-703DIII半导体气体检测仪

报警声（断续声）的快慢随着气体浓度的变化而逐渐变化，当浓度达到较高水平时，发出连续的声音，便于识别气体泄漏的位置。

一台装置可处理各种半导体材料气体（胂、磷化氢、、硅烷、氢气等）。

比传统产品更小、更轻。机身紧凑，可轻松握在手中。

配备液晶显示屏，可以轻松查看设备的状态，例如电池电量和泵状态。

正面、底部两处设有报警灯，工作时轻松了解报警情况。

相当于防护等级 IP22 (JIS C 0920)*。 *配备皮套时

符合CE标准

型 XP-703DIII 型 

目标气体 半导体制造气体（砷化氢、磷化氢、、硅烷、氢气） 

气体采样法 自动抽吸式 

传感器类型 热线半导体 

 胂 磷化氢  硅 烷 氢 

可检测泄漏量 2.53× 10-7

帕• m3 /s 1.52× 10-7

帕• m3 /s 1.01× 10-7

帕• m3 /s 2.53× 10-7

帕• m3 /s 5.07× 10-7

帕• m3 /s 

可检测浓度 0.5 页/分钟 0.3 页/分钟 0.2 页/分钟 0.5 页/分钟 1.0 页/分钟 

响应时间 10 秒内（气体浓度为可检测浓度的 3 倍，灵敏度设置 [4]） 

显示方式 间歇性的声音和闪烁的警报灯 

电源 两节 AA 碱性电池 

连续使用时间 *1 约 12 小时（AA 碱性电池）[常温常湿] 

防护等级 *2 相当于 IP22 

工作温度 0°C 至 +40°C 85% RH 或更低（无冷凝） 

外形尺寸 宽 38×高 130×深 32 毫米（不包括突起部分） 

重量 约 190 克（包括电池和皮套） 

标准配件 皮套、排水过滤器、更换滤芯、附件、测试气体、手带、2 节 AA 碱性电池等。