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产品简介
EBARA荏原EV-M302N进口干式真空泵能够在重负荷下进行处理兼容高温控制节能采用耐腐蚀材料标准耐腐蚀性增强选项在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
EBARA荏原EV-M302N进口干式真空泵
EBARA荏原EV-M302N进口干式真空泵
荏原 （EBARA） 高温技术支持高负荷工艺，在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能，可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容，可以处理各种高负荷工艺。
| 单位 | EV-M20N 系列 | EV-M102N 系列 | EV-M202N 系列 | EV-M302N 系列 | EV-M502N 系列 | EV-M505SF 系列 | 电动车 EV-M802N | 电动叉车 EV-M805SF | EV-M1205SF | ||
| 抽速 | 升/分钟 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 50,000 | 80,000 | 80,000 | 110,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接直径 | 进气口 | 西北 40 | ISO100 认证 | ISO100 认证 | ISO100 认证 | ISO160 认证 | ISO160 认证 | ISO200 认证 | ISO200 认证 | ISO200 认证 | |
| 排气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 电源容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
| 近似质量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 | 740 | 820 | 870 | |
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