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产品简介
进口现货EBARA荏原干式真空泵EST25N 兼容高温控制抽速大大流量排气采用耐腐蚀材料标准耐腐蚀性增强选项能够在重负荷下进行处理在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
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进口现货EBARA荏原干式真空泵EST25N
进口现货EBARA荏原干式真空泵EST25N
EST 型号使用螺杆式转子，并配备了高温功能，可将泵中的气体保持在高温下，使其非常适合 CVD 等形成反应副产物的应用。 标准使用耐腐蚀材料，实现高抽速和高流量泵送，减少停机时间并有助于提高工艺效率。
| 型 | 单位 | EST10N 系列 | EST25N 系列 | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | EST800WN | |
| 抽速 | 升/分钟 | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 80,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 2.7 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.5 | |
| 连接直径 | 进气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 50 | 西北 100 | 西北 100 | ISO160 认证 | ISO200 认证 | |
| 排气口 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 2.3 | 3 | 3.2 | 3.2 | 4.5 | 4.6 | 4.6 | |
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
| 温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | 13~18 | 13~18 | 24~29 | 24~29 | 28~31 | 28~31 | 28~31 |
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | - | ||
| 电源容量 | 千伏安 | 4.6 | 7.3 | 8.2 | 8.5 | 12.7 | 15.1 | 16 | |
| 近似质量 | 公斤 | 260 | 300 | 380 | 430 | 500 | 550 | 840 | |
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