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产品简介
日本供应EBARA荏原 EMT1307M干式真空泵 抽速大大流量排气采用耐腐蚀材料标准耐腐蚀性增强选项能够在重负荷下进行处理在不同频率下具有相同的性能 （50/60 Hz）油提供 CE 标志/SEMI-S2/NRTL
日本供应EBARA荏原 EMT1307M干式真空泵
日本供应EBARA荏原 EMT1307M干式真空泵
磁気浮上仕様
340~4，200L/sまでの幅広い製品ラインナップ
控制器一体型
可选择空冷型和水冷型(控制器分离型)
受苗拉
可选择高温规格、耐腐蚀规格(可选)
各种特殊规格的阵容(反应生成物对应、极低振动型)
●取付姿勢自由
支持网络连接
CE标记，适合SEMIS2.NRTL
EBT型(玉轴承型)
润滑脂润滑玉轴承类型
70~2，400L/sまでの幅広い製品ラインナップ小型·轻量·低成本
也可选择控制器一体型(仅支持EBT70型、EBT240型)高耐冲击性
可选择空冷型和水冷型(EBT70F型、EBT240F型仅空冷)取付姿勢自由支持网络连接CE标记，适合SEMIS2.NRTL
| 型 | 单位 | EV-S20 系列 | EV-S20P/N 系列 | EV-S30 系列 | EV-S30P 系列 | EV-S50 系列 | EV-S50P/N 系列 | EV-S100 系列 | EV-S100P/N | EV-S200 系列 | EV-S200P/N 系列 | |
| 抽速 | 升/分钟 | 1,670 | 1,670 | 3,300 | 3,300 | 5,000 | 5,000 | 10,000 | 10,000 | 20,000 | 20,000 | |
| 极限压力 | 帕 | 3 | 5 | 0.5 | 1.0 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
| 连接直径 | 进气口 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 50 | 西北 80 | 西北 80 | 西北 100 | 西北 100 | |
| 排气口 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 25 | 西北 40 | 西北 40 | ||
| 极限压力下的近似功率 | 千瓦 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.55 | 0.55 | 0.65 | 0.65 | 0.75 | 0.75 | |
| 冷却水 | 流量 | 升/分钟 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 1.5~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 | 2.0~3.0 |
| 温度 | °C | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | 最多 30 个 | |
| 注 2 | 流量 | 帕•m3/秒 | - | 17~20 （2.4） | - | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | 17~20 （2.4） | |||
| 电源相位/电压/频率 | 200V 型号 | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | 三相/200-220V，50/60Hz | |
| 400V 型号 | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | - | - | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | 三相/380-440V，50/60Hz | ||
| 电源容量 | 千伏安 | 3.2 | 3.2 | 3.6 | 3.6 | 4.8 | 4.8 | 6.4 | 6.4 | 6.8 | 6.8 | |
| 近似质量 | 公斤 | 60 | 60 | 90 | 90 | 100 | 100 | 120 | 120 | 170 | 170 | |
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