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产品简介
ULVAC爱发科HR300 多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以气态排出。
ULVAC爱发科HR300 多级罗茨干式真空泵
ULVAC爱发科HR300 多级罗茨干式真空泵
可以在气态下排放高温区域热均衡
CVD 和蚀刻产生的升华废气排放物。
“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。
由于安装了密封
性密封电机，因此非常安全。
瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止
措施。
优异的耐腐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊
表面处理。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。
通信功能：
可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。
用
CVD 设备
蚀刻设备
灰化装置
ALD、ALH 等
| 型 | HR60 | HR90 | HR300型 | HR600 型 | HR1200 型 | ||||
| 使用的泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A 系列 | PRC-006A 系列 | PRC-012A 系列 | ||||
| 最大 抽速 | 50 赫兹 | m3/h （升/分钟） | 62(1030) | 112(1860) | 359(5,980) | 653(10,900) | 1,012(16,900) | ||
| 60 赫兹 | m3/h （升/分钟） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701(11,700) | 1,051(17,500) | |||
| 极限压力 | 帕 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大入口压力 （入口压力） | 大气压力 *1 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排气压力） | 帕 | 1~大气压 | |||||||
| 进气口 （CE 规格） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG80（KF80） 系列 | VG100型 （KF100） | |||||
| 排气口 | 肯氟烃40 | ||||||||
| 质量 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 电力 | 三个阶段 | 交流电（Hz） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 当前值 | 稳态 | 一个 | 7.1 （200V 时） | 11.2 （200V 时） | 7.8 （200V 时） | 12.9 （200V 时） | 15.4 （200V 时） | ||
| 最大值 | 一个 | 7.3 （200V 时） | 11.8 （200V 时） | 8.1 （200V 时） | 13.8 （200V 时） | 18.9 （200V 时） | |||
| 冷却水临时压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2 吹扫 | 轴 | SLM 系列 | 5 | ||||||
| 加斯伯勒 | SLM 系列 | 0~45 | |||||||
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