产品简介

ULVAC爱发科 UR600 多级罗茨干式真空泵 通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以
气态排出。

ULVAC爱发科 UR600 多级罗茨干式真空泵  

ULVAC爱发科 UR600 多级罗茨干式真空泵  

可以在气态下排放高温区域热均衡

CVD 和蚀刻产生的升华废气排放物。

“Model：UR" 甚至可以高于 “Model：HR"。

由于安装了密封

性密封电机，因此非常安全。

瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止

措施。

优异的耐腐蚀性主要部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊

表面处理。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。

通信功能：

可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。

用

CVD 设备

蚀刻设备

灰化装置

ALD、ALH 等

我司代理及优势品牌一览明细：

代理品牌：CCS晰写速SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机

SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt写真化学、NIPPON GEAR日本齿轮

NIDEC尼得科、MIYACHI天田、TORAY 东丽 

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、TORAY东丽、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野、ANRITSU安立计器

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣、HEIDON新东科学KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基、AIKOH爱光、SEM坂本电机

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂、

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等