产品简介

YAMAMOTO山本镀金 电镀设备 上海
适用于2～12英寸硅片的电镀水槽。该水槽采用持续过滤设计，从槽底产生缓和对流，并具备溢流功能。提供单面电镀尺寸，有亚克力和PP两种材质可选。

适用于2～12英寸硅片的电镀水槽。该水槽采用持续过滤设计，从槽底产生缓和对流，并具备溢流功能。提供单面电镀尺寸，有亚克力和PP两种材质可选。

YAMAMOTO山本镀金 电镀设备  上海

关键设计特点

对流 + 溢流循环：底部导流设计产生均匀对流，配合溢流过滤，维持镀液成分稳定，减少颗粒污染。

高效搅拌：标配桨式搅拌器，双面槽可双桨搅拌，转速可达 130rpm，提升镀面均匀性。

材质可靠：

亚克力：透明可视、易清洗、耐常规镀液（酸 / 碱适中）。

PP：耐强腐蚀（如浓酸 / 强碱），适合特殊工艺。

适配多材质基板：除硅片外，还支持SiC、玻璃、GaAs、InP等半导体 / 陶瓷基板。

YAMAMOTO山本镀金 电镀设备  上海

典型应用场景

半导体晶圆TSV（硅通孔）电镀、凸点（Bumping）电镀。

晶圆级封装（WLP）、再分布层（RDL）制备。

玻璃 / 陶瓷基板精密镀膜、微机电系统（MEMS）电镀。

配套组件（套装常见配置）

硅片阴极盒（标准 / 密封型）

阳极支架（不溶性阳极 / 隔膜型）

桨式搅拌器、加热器、温度传感器

迷你过滤器（20APFA/40APFWJ 型）

选购要点

按晶圆尺寸选型号（2/4/6/8/12 英寸）。

单面 / 双面电镀：双面槽效率更高，适合量产；单面槽适合实验 / 小批量。

材质选择：常规工艺用亚克力；强腐蚀镀液选 PP。