产品简介

COSMO科斯莫 测试仪
这是一款微压电控气动调节器，可通过0～5 V的电压轻松控制微低压，并实现大流量的通流。属于压电驱动微型精密电气空压调节器，依靠压电陶瓷形变实现无机械弹簧、电子式微量气压闭环调压，多用于检漏设备、半导体、精密气动、微流量气密测试、微量气压闭环控制场景。

这是一款微压电控气动调节器，可通过0～5 V的电压轻松控制微低压，并实现大流量的通流。属于压电驱动微型精密电气空压调节器，依靠压电陶瓷形变实现无机械弹簧、电子式微量气压闭环调压，多用于检漏设备、半导体、精密气动、微流量气密测试、微量气压闭环控制场景。

COSMO科斯莫 测试仪

特点·功能

通过0～5 V的电压输入控制微低压

微低压的高速控制

微低压的高精度控制

能够输送大流量

7 kPa量程下150 L/min

35 kPa 范围内 200 L/min

关键性能参数

调压精度：±0.2% FS~±0.5% FS，重复精度 ±0.1%，远超普通精密减压阀

响应速度：＜5ms，电控跟随快，适合动态压力闭环

介质：洁净干燥压缩空气 / 惰性气体，禁含水油

控制信号：标准 0~10V DC（标配），可选 4~20mA 电流控制

工作温度：5~45℃

泄漏：阀内微漏＜0.01sccm，适配高精度气密检测

COSMO科斯莫 测试仪

产品优势

无弹簧机械结构：寿命千万次、无疲劳漂移，长期精度稳定

微型体积：同精度体积仅普通电控减压阀 1/3，设备紧凑集成

低功耗、低噪音：压电驱动几乎无振动，不干扰精密传感器、光学设备

线性优异：输入电压与输出气压线性＞99%，自动化 PLC 精准程控