产品简介

MIYUKI美幸辉 压力控制器 双真空计输入
闭环真空压力控制器（APC），不是普通机械式压力开关，是一套阀‑控制器‑真空计组成的闭环稳压系统，日本 MIYUKI 美幸辉机型，主打半导体、镀膜精密真空腔体恒压控制。

MIYUKI美幸辉  压力控制器  双真空计输入

MIYUKI美幸辉  压力控制器  双真空计输入

闭环真空压力控制器（APC），不是普通机械式压力开关，是一套阀‑控制器‑真空计组成的闭环稳压系统，日本 MIYUKI 美幸辉机型，主打半导体、镀膜精密真空腔体恒压控制。

工作原理

1. 闭环控制逻辑：采集真空计 0‑10V 压力信号，和目标设定压力对比，经过 PID 算法输出，驱动 GAR/BAR 电动蝶阀改变阀开度，维持腔体压力稳定。

2. PIDAT 自动整定：7 档自动调谐，设备自动识别腔体气路特性，自动算出 P/I/D 参数，减少人工调试；采用微分先行算法，设定值突变时不易震荡，压力过渡更平滑。

3. 上电原点复位：开机阀门自动回原点，确认阀位基准。

4. 安全机制：支持外接 UPS，主电断电后依靠 UPS 输出信号，强制关闭调节阀，保护腔体、样品，防止异常泄压 / 进气；具备报警输出、阀位开度实时显示。

5. STEP 步进模式：可以做压力阶梯爬升 / 下降工艺，适配镀膜、刻蚀的分段工艺。

产品优势

精度高：±0.1% 设定值精度，对比普通真空控制器常见 ±0.5‑1%，适合薄膜工艺对压力波动敏感场景。

双真空计输入：可同时接两只真空计，实现腔体内外 / 阀前后双点监测，适合宽量程工艺切换。

三种控制方式：触摸屏本地、I/O 硬接线联锁、RS‑232C 上位机，方便集成到设备整机 PLC 系统。

自带真空计供电，减少外部电源配线。

7 组工艺配方存储，多产品工艺一键调用，重复性好。

半宽 19 英寸机架，节省机柜空间。