产品简介

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 气垫缓冲击
日本 MIYUKI 美幸辉中高性价比伺服电动真空调节蝶阀，专门配合 MGCS‑11/MGCS‑05 等控制器组成闭环真空压力控制系统。

MIYUKI美幸辉  气动蝶阀  气垫缓冲击

MIYUKI美幸辉  气动蝶阀  气垫缓冲击

日本 MIYUKI 美幸辉中高性价比伺服电动真空调节蝶阀，专门配合 MGCS‑11/MGCS‑05 等控制器组成闭环真空压力控制系统。

工作原理

1. 驱动与控制性能

2. 伺服电机直驱，零背隙传动，取消齿轮减速机构，消除回程间隙，0‑90° 全行程无级开度调节，阀位重复定位精度高

3. 微小开度稳定可控，小流导区间调节平顺，适合真空腔体精细稳压、缓泄压工艺。

4. 运行低震动低噪音，连续往复调节无冲击，适配设备长时间量产运行

5. 仅需电机电缆，无需锁止电缆，布线相比 GAR 闸阀更简洁。

6. 阀体、密封与洁净

7. 接气部件 SUS304 不锈钢，内腔电解抛光，放气低；阀内部无金属滑动摩擦副，低颗粒析出，满足常规成膜工艺洁净需求。

8. 氦检级泄漏指标：内漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，轴封外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，高真空保压能力优秀。

9. 标准 FKM 氟橡胶 O 型圈密封；腐蚀等离子工况可选 Kalrez 全氟醚密封圈。

10. 阀体最高烘烤150℃；伺服电机头部严禁烘烤，环境温度≤40℃。

产品优势

精度高：±0.1% 设定值精度，对比普通真空控制器常见 ±0.5‑1%，适合薄膜工艺对压力波动敏感场景。

双真空计输入：可同时接两只真空计，实现腔体内外 / 阀前后双点监测，适合宽量程工艺切换。

三种控制方式：触摸屏本地、I/O 硬接线联锁、RS‑232C 上位机，方便集成到设备整机 PLC 系统。

自带真空计供电，减少外部电源配线。

7 组工艺配方存储，多产品工艺一键调用，重复性好。

半宽 19 英寸机架，节省机柜空间。