产品简介

Swagelok 全焊接单向阀 微压启开
半导体 / 特种气体管路全焊接高纯止回阀，VCR 面密封连接。
定位超高纯气路单向保护元件，主打低微粒释放、极低漏气率；阀体整体焊接，消除阀体泄漏点。区别前面 CA/CH 可拆阀：CW 是**一次性全焊接阀，不能维保**，用于超高纯特气柜、气体分配面板，防止气体回流污染气源。

Swagelok   全焊接单向阀  微压启开

Swagelok   全焊接单向阀  微压启开

半导体 / 特种气体管路全焊接高纯止回阀，VCR 面密封连接。

定位超高纯气路单向保护元件，主打低微粒释放、极低漏气率；阀体整体焊接，消除阀体泄漏点。区别前面 CA/CH 可拆阀：CW 是**一次性全焊接阀，不能维保**，用于超高纯特气柜、气体分配面板，防止气体回流污染气源。

核心特点

全焊接阀体：无阀体拆装缝隙，降低气体渗透、微粒析出，氦检漏级别

316L 低碳不锈钢：低碳材质，减少碳析出，适配超高纯特种气体

VCR 面密封连接：金属垫片密封，无卡套缝隙，高纯管路行业标准接口

2psi 微开启：极低固定开启压力，微小压差即可导通，流阻小

FKM 阀芯密封：耐烃类、惰性气体，抗老化；阀芯一体式粘接密封

X750 合金弹簧：耐腐蚀、抗应力松弛，长期工况开启压力稳定

低微粒释放：内孔精密加工 / EP 电抛版本，满足半导体颗粒控制要求

固定启闭特性：出厂标定 2psi，批次一致性好，回路压差稳定

紧凑直通结构，节省特气柜面板安装空间

出厂逐台气密性检测，可提供检测报告

应用场景

1. 半导体、光伏、LCD 超高纯特种气体输送管路（N2、Ar、He 等惰性气）

2. 特气柜、气体分配盘、气体支管单向保护，防止气源回流污染

3. 分析仪器高纯气路、实验室超高纯供气系统

4. 微电子工艺洁净气体管路，微量杂质控制场景

5. 洁净工艺保护，防止反向压力倒灌