产品简介

MITUTOYO三丰 白光干涉测量仪 无探针
**台式一体式超高精度低测力测厚 / 高度测量仪**，属于三丰 Litematic 系列精密接触式量仪，主打**软质、超薄、易压伤变形工件**的厚度、台阶、高度、跳动检测，区别于普通高度规、普通测微仪。

MITUTOYO三丰  白光干涉测量仪   无探针

MITUTOYO三丰  白光干涉测量仪   无探针

台式一体式超高精度低测力测厚 / 高度测量仪，属于三丰 Litematic 系列精密接触式量仪，主打软质、超薄、易压伤变形工件的厚度、台阶、高度、跳动检测，区别于普通高度规、普通测微仪。

优势特点

1. 0.01N（1gf）超低恒定测力轻柔接触，几乎不会压薄、压伤薄膜、光学镜片、软胶、晶圆；同系列还有 0.15N /1N 出厂可选版本，测力固定出厂标定，不可现场自行切换。

2. 超高分辨率与精度分辨率 0.01/0.1/1μm 三档切换；测量行程 0~50mm；精度 (0.5+L/100)μm，L 单位 mm；重复精度 0.02μm 以内；光栅线性编码器，读数稳定。

3. 电动主轴，自动触停电机驱动测杆下行，测头碰到工件立即停止，恒定测力采集；支持最大值 / 最小值 / 振幅（跳动）测量，适合翘曲件、薄片波动检测。

4. 温稳结构设计测杆采用低膨胀特种材料，工作台为陶瓷台面，防锈、低热形变，降低环境温度带来的测量误差，维护简单。

5. 数据输出能力RS232 接口，搭配 VLink / SensorPak 软件，电脑采集、SPC 统计、公差判定，可接脚踏开关实现快速批量检测。

6. 一体式整机主机 + 显示面板一体，无需单独搭配计数器；对比分体 VL-50S-B，适合质检室、离线抽检，不用集成设备机架。

应用场景

• 光学行业（你前面关注的物镜 / 镜片配套检测）：光学镜片、滤光片、透镜基底厚度、台阶差，防止测头压伤光学镀膜

• 薄膜 / 功能膜：光学膜、PET 薄膜、软基材厚度测量

• 半导体：硅片、引线框架厚度、翘曲高度检测

• 塑胶 / 橡胶：硅胶垫片、薄膜按键、软塑料件，避免压入形变导致厚度测不准

• 医疗耗材：薄型医用膜、垫片、注射器零部件

• 精密电子：薄金属弹片、PCB 薄板、电池极片厚度、微小台阶高度、平面跳动检测