产品简介

Fujikin富士金 金属膜片阀 氦检微泄漏
半导体超高纯特种气体管路**手动金属膜片阀**，金属隔膜无高分子析出，氦检漏高气密，用于高纯、可燃、有毒特种气体切断。

Fujikin富士金   金属膜片阀   氦检微泄漏

Fujikin富士金   金属膜片阀   氦检微泄漏

富士金 FINE PURE「极」系列1/2 寸手动金属膜片切断阀，半导体超高纯特种气体管路核心手动阀件，主打无高分子析出、氦检级高气密，针对有毒、可燃、腐蚀性特种工艺气体以及高真空管路，作为气柜、配气面板上的手动隔离、检修切断阀。

特点 & 核心优势

1. 高纯洁净优势

2. 全金属膜片结构，无橡胶 / 塑料部件，不存在有机物析出，满足半导体超高纯工艺气体要求

3. 禁油规格，出厂脱脂禁油处理，无油脂污染风险，适配敏感特种工艺气体

4. SUS316L 阀体 + EP 电解抛光，表面微粒、离子溶出极低，不污染管路内高纯介质

5. 全金属膜片，无塑料析出，适配超高纯气体

6. 氦检严苛，微泄漏等级高

7. 禁油处理，半导体气体标配

8. 1/2 寸大 Cv，金属隔膜阀中大流量

9. NCF718 金属膜片，抗疲劳长寿命

10. 金属垫片密封，无橡胶老化风险

11. 手轮手动操作，开关状态直观

12. 阀体 EP 抛光，低微粒释放

应用场景

1. 半导体工艺特种气体（SiH4、Cl₂、NH₃等）供气管路

2. 有毒、可燃性高纯气体管路切断

3. 真空、超高纯气体输送系统

4. 面板、光伏特种气体柜（GC）

5. 实验室超高纯气体配气装置