产品简介

METROL美德龙-高真空级兼容开关设备-迟滞低
美德龙高真空专用接触式定位开关，低析出低放气，纯机械无电路板结构，最高适配 10⁻⁵Pa 真空，最高精度 3μm，支持腔体烘烤除气，轻接触力设计，干接点输出，多用于半导体真空腔晶圆落座、光学基板贴合确认、真空治具定位。

METROL美德龙-高真空级兼容开关设备-迟滞低

METROL美德龙-高真空级兼容开关设备-迟滞低

高真空对应型开关是 METROL 美德龙面向半导体真空腔体、真空光学设备开发的精密接触定位传感器，区别 STM 常温止动开关、HT 高温开关，整套元器件全部围绕高真空低析出要求开发，解决普通传感器在真空内部放气污染产品、电路板放电、密封件挥发等痛点，是真空制程内部工件定位检测的核心元件。产品最核心的优势是低 outgassing 低放气设计，全部壳体、线材、粘接剂、触点支撑材料均选用真空适配特种材质，不使用常规 PVC、普通橡胶等易挥发材料，可在 10⁻⁵Pa 高真空环境长期稳定工作，不会释放有机污染物，保护晶圆、光学玻璃、镀膜基板不受污染。采用纯机械触点结构，腔体内部不含 PCB 电子基板，从根源消除真空低压下的微放电、电路板挥发问题，这是普通接触开关无法实现的关键特性。产品线布局清晰，GN-PT5M3 为 M5×0.5 微型款，外径小巧、自重仅 1.2g，适合真空腔内部紧凑模组、真空夹爪末端安装；重复精度可达 3μm，无迟滞回差，每次工件抵靠触发位置高度统一，满足半导体设备微米级定位需求；GN-CSK141B 为 M14 规格，行程更长，适合大尺寸基板定位；GN-BP5MA 球形触头版本，允许 ±3° 以内斜向接触，降低基板进给同轴度加工难度。接触力 0.5N，属于超轻力触发规格，针对薄晶圆、玻璃、陶瓷等脆性工件，接触检测时不易压痕、崩边，适配精密光学、半导体显示制程。同时支持真空烘烤除气工艺，最高烘烤温度 120℃，腔体定期 bake 除气时传感器无需拆卸，简化真空设备运维流程。信号输出为干接点触点，分为常开 NO、常闭 NC，兼容 DC5~24V 控制回路，可直接接入真空设备的控制板与 PLC。线缆为低析出特氟龙线材，耐烘烤、不挥发，标配散线结构，方便真空馈通端子对接。防护等级 IP40，腔体内部洁净工况使用，不适合外部大量切削液飞溅场景。使用上，该款仅限真空腔体内部洁净环境使用，不适合腐蚀性等离子、强离子轰击场景；安装时需要额外设置外部硬挡块，防止超行程挤压损坏内部片簧结构。对比 STM 常温止动开关，GN 做低放气升级，专为真空腔体内部使用；对比 HT 耐热款，侧重点为低析出而不是高温；对比真空光电、真空接近传感器，不受真空内微弱等离子、光路遮挡影响，结构简单可靠。客户集中在半导体晶圆设备、真空镀膜机、光学真空检测台、航天真空测试装置厂商，多用于真空腔内晶圆落座确认、基板贴合到位校验、真空治具工件止动定位、夹持状态检测。