产品简介

OTSUKA大塚 膜厚计 单侧可测厚
微区薄膜光学检测设备，定位介于普通分光膜厚仪与椭偏仪之间；主打**微小图案区域膜厚 + 光学常数 n/k 解析**，兼顾研发、品控、产线在线监测；适合需要微区定点、面分布 mapping 扫描场景，性价比优于椭偏仪

OTSUKA大塚    膜厚计  单侧可测厚

OTSUKA大塚    膜厚计  单侧可测厚

微区薄膜光学检测设备，定位介于普通分光膜厚仪与椭偏仪之间；主打微小图案区域膜厚 + 光学常数 n/k 解析，兼顾研发、品控、产线在线监测；适合需要微区定点、面分布 mapping 扫描场景，性价比优于椭偏仪

特点 & 优势

1. 微区微小光斑，最小 Φ3μm，专门测晶圆、显示器件上图案化、线路局部点位，普通大光斑分光膜厚仪无法测量

2. 背面反射消除算法，玻璃、透明树脂基板上薄膜结果稳定，解决透明基底测试痛点

3. 高速测量，单点对焦 + 测量≤1 秒；电动 XY 载台可自动多点扫描，输出二维 / 三维膜厚分布 Mapping 图

4. 多层膜解析能力强，最多支持 50 层膜结构拟合，同步输出膜厚、折射率 n、消光系数 k、反射光谱

5. 两种形态灵活选型：台式整机适合实验室研发质检；独立测头可直接嵌入镀膜机、刻蚀、CMP 设备做在线监控

6. 软件友好易上手，向导式建模，新手也能完成光学模型拟合；自带宏程序，自定义测量流程、自动报表、数据追溯；带图像对位，拍照定位测点

应用场景

• 半导体：晶圆氧化层、光刻胶、钝化层、CMP 后介质膜、微小 PAD 区域膜厚检测

• 显示行业：MiniLED/OLED、彩膜 CF、偏光片、AR/AF 光学膜、ITO 导电膜微区检测

• 光学元器件：滤光片、光学镜头镀膜、多层介质膜、保护膜研发与来料质检

• 新能源：光学涂层、封装薄膜、光学胶层

• 高校院所光学薄膜、涂层材料课题研发