产品简介

OSAKA大阪真空 真空泵 耐腐蚀
**仪器配套型洁净干式螺杆泵**，主打小体积、低振低噪、无同步齿轮风冷免水，面向精密真空设备 OEM，优先匹配 TG-ML 低振分子泵、TG-MU 超高分子泵，避免前级泵引入振动干扰精密腔体

OSAKA大阪真空   真空泵  耐腐蚀

OSAKA大阪真空   真空泵  耐腐蚀

仪器配套型洁净干式螺杆泵，主打小体积、低振低噪、无同步齿轮风冷免水，面向精密真空设备 OEM，优先匹配 TG-ML 低振分子泵、TG-MU 超高分子泵，避免前级泵引入振动干扰精密腔体

特点 & 优势

1. 无同步齿轮结构（核心差异点）螺杆转子取消定时齿轮，泵腔内部无润滑油，从根源消除齿轮油污染、齿轮磨损噪声；几乎无常规维保项目，不用定期换油、换齿轮密封

2. 风冷设计，无需冷却水只接单相电，不用水路，机台内部集成、实验室、移动测试场景布线极简。

3. 低振动、低脉动螺杆流道消除排气脉冲，对 TG-ML 纳米级低振动分子泵非常友好，不会叠加振动噪声，电镜、光刻、精密测量优选。

4. 标配气镇阀可抽含水汽工况，抑制水汽在泵腔凝结，拓展含水、潮湿气体使用范围。

5. 内置旁通，快抽大气段大气压区间抽速充足，缩短 Loadlock 腔放气后粗抽时间。

6. 整机轻量化带提手，便携可移动设备集成、样机测试、实验室多工位轮换方便。

应用场景

DSP251（小流量款）

• SEM、TEM、AFM、表面分析仪器、SIMS 前级

• EB 电子枪、离子源、小型加速器束线

• 小型 Loadlock / 传输腔粗抽

• 科研 PVD、小型镀膜研发机台

• TG-ML、TG-MU 小抽速分子泵配套前级

DSP501（大一号）

• 中型分析腔体、多工位小型真空台

• 中等容积 Loadlock 腔

• TGkine1700、TG-M 系列中规格分子泵配套

• 光刻配套真空单元、医疗真空设备