产品简介

TOKYO 东京计装 热式流量计 模拟给定
**小流量气体精密质量测控一体（MFC）**，半导体、光伏、分析仪器、工艺气路标配；区别于 TF 全通式热式、科氏

TOKYO 东京计装   热式流量计   模拟给定

TOKYO 东京计装   热式流量计   模拟给定

小流量气体精密质量测控一体（MFC），半导体、光伏、分析仪器、工艺气路标配；区别于 TF 全通式热式、科氏

原理：旁路分流热式，气体专用质量流量，既是流量计，也集成控制阀，可做流量闭环控制；和 NM-1500 为同平台，NM-2000 量程更大

特点 & 优势

1. 直接质量测量，不受温度、压力波动影响，无需温压补偿

2. 测控一体，内置电磁阀 / 控制阀，给定信号即可自动稳流

3. 分流结构，压损小，不易堵塞

4. 精度 ±1% FS，重复性好，适合配比、混合气体

5. 适配高纯气体：N₂、Ar、O₂、压缩空气、各类工艺特种气

6. 接口：VCR、Swagelok 卡套，适配高纯气路

7. 输出：4-20mA / 0-5V / 0-10V 模拟，脉冲、报警

8. 自带气体切换标定，内置多种气体系数

9. 体积小巧，面板 / 机架安装，适合设备集成

10. 无活动叶轮，无磨损，零点稳定

11. 可选防爆规格，用于可燃气体（甲烷、氢气）

12. 响应速度快，适合动态配气、间歇工艺

应用场景

• 半导体腔体吹扫、工艺载气；光伏扩散、刻蚀供气；气体配比柜、混合气制备；分析仪器、在线色谱；实验室供气、燃烧试验；惰性气体保护、氢气 / 可燃气体精密控制。