OTSUKA大塚 智能膜厚计 微区薄膜光学检测设备，定位介于普通分光膜厚仪与椭偏仪之间；主打**微小图案区域膜厚 + 光学常数 n/k 解析**，兼顾研发、品控、产线在线监测；适合需要微区定点、面分布 mapping 扫描场景，性价比优于椭偏仪

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