EV-M202N采用螺杆转子与怠速功能优化设计，功耗低至0.7kW，节能效果

1. 高效节能设计
   EV-M202N采用螺杆转子与怠速功能优化设计，功耗低至0.7kW（达到压力时），节能。其排量范围为1,300-2,000 L/min，极限压力达2Pa，适用于中高真空需求的工业场景。

2. 无油清洁运行
   干式设计避免润滑油污染，符合半导体、制药等行业的洁净要求。耐腐蚀材料选项可处理蚀刻、CVD等工艺中的腐蚀性气体。

3. 智能控制与维护便捷
   支持宽范围温度控制（冷却水流量2-8 L/min），适应多样化工艺条件。模块化设计便于快速维护，减少停机时间。

典型应用场景

1. 半导体制造
   在离子注入、外延生长等工艺中提供无油真空环境，防止晶圆污染。其NW40接口适配标准真空系统，兼容负载锁等设备。

2. 新能源电池生产
   用于锂电极片干燥、电解液注液等环节，避免油蒸汽对电池性能的影响。低振动设计（配备橡胶避震喉）可保护精密设备。

3. 化工与环保
   处理挥发性有机物（VOCs）回收时，耐腐蚀泵体可抵抗酸性气体侵蚀。直接排大气设计简化废气处理流程。