更新时间:2026-09-03
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Photonic‑Lattice(光子晶格)PA、WPA 系列二维双折射应力测量设备,广泛用于光学玻璃、树脂注塑透镜、VR Pancake 光学组件、半导体透明基板,检测材料内部应力引发的双折射效应,输出相位差、光轴方位角二维分布云图。区别于传统需要电机旋转偏振片的测量方案,该设备核心是光子晶体微纳偏振阵列芯片,无需机械转动,单次拍照即可完成全视场偏振信息采集,消除机械旋转带来的振动与时间延迟误差。
整套系统主要包含:标准单色光源、准直照明单元、光子晶体偏振阵列芯片、高像素面阵图像传感器、数据处理软件。光子晶体偏振阵列芯片是核心器件,芯片表面由大量微米级光子晶体微元按照特定周期排布,每一个微元单元具备不同偏振滤波特性,相当于把多组偏振片、波片微型化集成在同一块芯片上,空间上分区实现不同偏振分量的分光采集。
平行偏振光入射样品光源输出准直线偏振光,均匀照射待测透明样品。材料内部残余应力会引发双折射现象,入射光穿过样品之后,偏振状态发生改变,线偏振光转变为椭圆偏振光,相位差、光轴方向由样品内部应力大小与方向决定。
光子晶体阵列同步分光采样携带样品偏振信息的透射光投射到光子晶体偏振阵列芯片。芯片上不同微元分别对 4 组基础偏振分量做空间分离采样,同一帧图像内,同时获取 0°、45°、90°、135° 偏振分量光强信号,没有任何机械旋转部件,全部采集过程一次曝光完成。
斯托克斯参数求解计算设备采集四组偏振光强,代入斯托克斯(Stokes)偏振计算模型,算法解算出每一个像素点位:
相位差(光程差,反映应力大小)
光轴方位角(反映应力方向)WPA 多波长版本还可通过多波段算法,拓展至高相位差量程,适配注塑树脂等高应力工件。
生成二维应力云图软件把每个像素计算结果渲染成彩色分布云图,直观展示浇口应力、边缘残余应力、薄膜褶皱、局部应力集中区域,输出数值报表用于工艺评价。
传统旋转偏光应力仪依靠电机带动偏振片、波片旋转,多次曝光采集不同角度光强。测量耗时较长,机械振动会引入测量误差;高速面扫描能力受限,大视场检测效率低。
Photonic‑Lattice 光子晶体阵列方案偏振微元全部固化在芯片内部,无运动部件;单次曝光完成全部偏振信息采集,数秒完成大视野全域成像;规避机械抖动带来的测量漂移,适合产线快速质检与实验室精密分析。
PA‑300 系列(低相位差高精度)采用单 520nm 绿光光源,适合 0‑130nm 小相位差场景,针对玻璃盖板、半导体基板、低应力光学元件,追求纳米级重复精度。
WPA 系列(宽量程)搭载多波长解析算法,量程最高可达 3500nm,专门针对注塑树脂、厚光学镜片等高应力样品,解决大相位差下的相位缠绕解算问题。
VRG‑100 面向 Pancake 光学组件,除基础双折射检测外,增加圆偏振度、椭圆率解算,可直接评价镜头 + QWP 波片复合组件偏振性能,识别波片贴附偏移、镜片内部应力缺陷。
样品表面平整度、表面反光;
光源稳定性,光源强度漂移会直接影响斯托克斯光强采集;
样品厚度,厚度会叠加相位差计算,测试需要录入样品厚度参数;
环境温度变化,会改变光子晶体阵列芯片本身偏振响应,设备需要开机预热。
消费电子:盖板玻璃、树脂导光板注塑残余应力检测;
AR/VR 光学:Pancake 镜头、QWP 波片组件偏振性能评价;
半导体:光掩模、蓝宝石、透明基板加工残余应力分析;
光学研发:透镜热处理、镀膜后双折射评估。