CR16B 干式真空泵：多级罗茨容积压缩与洁净无油抽气原理

一、整机系统构成

整机由DC 屏蔽驱动电机、多级三叶罗茨转子组件、隔离式轴承润滑腔、气镇机构、风冷散热模块、状态监测与报警单元组成。核心设计亮点是气体通路与润滑腔相互隔离，轴承、齿轮润滑油密封在独立仓，不会进入抽气腔体，从根源避免油蒸汽返流污染真空腔。采用风冷结构，不需要外接冷却水与氮气吹扫，安装简单。

二、核心抽气原理：多级罗茨容积式压缩

1. 一对三叶转子由同步齿轮驱动，以固定间隙反向同步旋转，转子之间、转子与泵壳互不接触，无摩擦磨损。

2. 转子转动过程中，进气侧腔体容积逐步扩大，腔体内部压力降低，腔体吸入气体；继续旋转，进气口被转子隔离，封闭腔携带气体转向排气侧。

3. 排气侧容积不断缩小，气体被逐级压缩，压力升高后从排气口排出。

4. CR16B 是多级串联结构，多级罗茨腔依次压缩，各级转子宽度逐级收窄提升压缩比，支持直接从大气压启动抽真空，不需要额外搭配前级泵。

5. 抽速 16m³/h（280L/min），极限真空可达 3Pa，适合洁净气体连续抽排。

三、气镇机构工作逻辑

自带气镇阀，当被抽介质含有水蒸气等可凝性气体时，开启气镇，向压缩腔混入少量干燥空气，提升排气侧总压，降低水汽分压，防止水汽在泵内凝结积水，保护转子腔体，拓展含水汽工况使用能力。

四、驱动与温控保护机制

1. DC 屏蔽密封电机：电机外壳气密隔离，密封性强、能耗低，减少向真空侧的泄漏风险。

2. 强制风冷散热：高速压缩会产生压缩热，散热风扇持续带走泵体热量，维持工作温度稳定。

3. 内置监测保护：搭载温度、电流、振动监测，出现过热、过载、异常振动时触发报警停机；配备通讯接口，支持上位机远程监控运行状态。

五、典型应用场景

1. 真空镀膜：小型溅射、蒸镀设备腔体预抽、分子泵前级泵；

2. 实验室工艺：样品真空脱泡、真空干燥、树脂除气；

3. 检测设备：氦检工装、小型腔体检漏、惰性气体抽排；

4. 半导体、精密电子：对洁净度有要求，禁止油污染的真空制程。

六、关键使用要点

1. 只能抽取洁净空气、氮气等惰性气体，禁止直接抽取腐蚀性气体、大量粉尘；进气前端建议加装过滤器；

2. 含水汽工况务必开启气镇，停机前空抽一段时间，排出泵内残留水汽；

3. 管路密封必须可靠，KF25 法兰对接，密封件定期检查；

4. 禁止超压、长时间超负荷运行；定期检查风扇、轴承状态；

5. 转子为非接触间隙设计，禁止异物进入泵腔，否则会造成转子磕碰损坏。