日本供应SHASHIN写真化学成像图层膜厚仪

# 2024年新品发布会#

日期：2024年9月29日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了SHASHIN写真化学成像图层膜厚仪

这是一种可以通过显微图像光谱可视化透明多层膜的膜厚分布的膜厚计。

由于薄膜厚度是通过光学干涉法计算的，因此

薄膜厚度分布可以以 0.1 nm 或更低的分辨率以 3D 形式显示。

在显微镜视场中测量任意区域的薄膜厚度和薄膜质量分布

，并以 3D 形式显示分布

分辨率与可见光波长光学涂层测厚仪相当

波长范围从 450 nm 到 750 nm，可以 1 nm 的增量

使用与反射膜厚度监视器相同的计算引擎进行并行计算

应用实例

（1） 数百层重复层压薄膜和沟槽等复合结构

（2） 用 EMA（有效介质近似）法估计亚微米图案的密度

（3） 局部结晶度评估