该泵采用变螺距螺杆设计，抽速范围覆盖500-1000m³/h

# 2025年新品发布会#

日期：2025年10月10日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了EBARA荏原ESA500W干式真空泵作为大型腔室高速排气的专用设备，其核心参数体现了高效能与可靠性的结合。该泵采用变螺距螺杆设计，抽速范围覆盖500-1000m³/h，极限真空可达0.1Pa，排气温度控制在60℃以下，显著优于传统油封泵的能耗表现。其无油化结构设计避免了介质污染，特别适用于半导体、光伏等对洁净度要求严苛的领域。关键部件采用耐腐蚀合金材质，配合间隙密封技术，在连续运行中仍能保持稳定的抽气性能。此外，模块化设计支持快速维护，背压耐受能力达0.3barg，可适应复杂工况下的气体排放需求。 EBARA荏原ESA500W干式真空泵凭借其无油洁净、高效节能的核心特性，在半导体制造、光伏电池生产等精密工业领域展现出不可替代的优势。其变螺距螺杆设计使抽气效率提升30%，配合0.1Pa的极限真空度，能有效满足晶圆蚀刻、薄膜沉积等工艺对超洁净环境的要求。在光伏行业，该泵可快速排出镀膜腔室内的气体残留，避免传统油泵导致的涂层污染，同时降低能耗成本。此外，其耐腐蚀材质和间隙密封技术使其在化工制药领域同样适用，可安全处理含腐蚀性气体或微小颗粒的介质，如反应釜排气、溶剂回收等场景。模块化设计进一步扩展了应用范围，特别适合需要频繁维护的实验室真空系统或连续生产的工业线，成为高洁净度 。