2026 新品上线：富士金全新 UHP 波纹管阀，提升特种工艺气体输送稳定性

2026 年 09 月 15 日，日本大阪 —— 全球精密流体控制品牌 FUJIKIN 富士金正式发布新一代超高纯金属波纹管阀系列产品，面向半导体晶圆制造、ALD 薄膜沉积、特种工艺气体输送场景，进一步优化阀门微粒释放、循环寿命与流体通流能力，面向全球半导体客户同步推出。

富士金作为半导体超高纯阀门领域厂商，本次新品延续品牌经典波纹管全隔离密封技术。采用 Inconel 合金波纹管结构，隔离驱动机构与工艺介质，摒弃传统填料密封结构，从根源杜绝介质外泄漏风险，适配硅烷、氯气、钨氟化物等易燃易爆、强腐蚀特种工艺气体。阀体基材选用 SUS316L 不锈钢，内部接液表面提供 EP 电解抛光与 UP 超抛光两种规格，内壁光洁度优异，降低微粒附着与金属离子析出，满足先进制程 UHP 超高纯管路要求。

本次产品升级亮点

1. 波纹管疲劳寿命大幅提升：合金波纹管材料配方与成型工艺优化，启闭循环寿命相比上一代产品提升 40%，减少半导体阀组箱内阀门更换频次，降低产线停机维护成本。

2. 通流能力优化：通过流体仿真重构阀体内部流道，流量系数 Cv 提升，同时保持阀体安装外形尺寸不变，支持老设备直接替换，无需改造管路布局，实现 Drop-in 兼容。

3. 内置流量微调机构：阀体内集成 Cv 独立调节结构，可单台校正流量偏差，改善 ALD 工艺气体供给一致性，提升薄膜厚度均匀性。

4. 驱动可视化设计：气动版本通过上盖颜色区分常开 / 常闭类型，现场运维人员快速识别阀门状态；同时提供手动旋钮款，适配不同控制需求。

5. 严苛出厂质控：全部产品在富士金一级洁净室完成组装、清洗、禁油处理，每台产品出厂执行氦质谱检漏，附带完整检测报告。接口支持 VCR 金属密封、UJR、焊接、卡套等多种形式，适配特气柜、机台狭小阀组空间。

富士金研发负责人表示，随着半导体先进制程持续推进，特气管路内微粒污染、气体供给不稳定等因素直接影响良率。新一代波纹管阀兼顾高密封性、长寿命与大流量，解决特种腐蚀性、危险性气体输送痛点，助力晶圆厂实现稳定的气体供给。产品可广泛用于 CVD、刻蚀、ALD 等半导体核心制程，也可应用于光伏、分析仪器等高洁净流体系统。