会议预告：FUJIKIN《UHP 超高纯波纹管阀选型与特气管路工程实践》技术讲座

2026 年 09 月 22 日，上海—— 日本超高纯流体控制品牌 FUJIKIN 富士金，将于 2026 年 10 月 20 日在上海举办专题技术讲座《半导体先进制程 UHP 特气管路设计与波纹管阀应用实践》，面向半导体设备、工艺、气体管路及设备运维工程师，分享特种气体管路系统工程经验与阀门解决方案。

先进半导体制程对于特种工艺气体的纯净度、管路密封性、微粒控制要求持续升级，波纹管阀作为特气柜核心部件，其密封可靠性、循环寿命、微粒释放性能，直接决定产线良率与安全生产水平。本次讲座由 FUJIKIN 富士金资深流体技术专家主讲，结合大量晶圆厂现场案例，围绕超高纯波纹管阀核心技术展开深度分享。

讲座核心分享内容

1. FUJIKIN 波纹管阀核心密封原理，全金属波纹管隔离结构如何杜绝介质泄漏、降低微粒产生；

2. 特气阀门选型要点：波纹管阀、隔膜阀、针阀的适用工况对比，腐蚀性、易燃易爆特种气体阀件选型策略；

3. 现场常见故障解析：波纹管疲劳破损、氦检泄漏、阀内微粒污染、流量不稳定等问题的成因与预防方案；

4. UHP 管路安装规范、焊接要点、洁净装配要求、预防性维保策略，延长阀件使用寿命，减少非计划停机；

5. 新品技术解读，介绍新一代长寿命波纹管阀技术特点、适配场景与替换改造方案；

6. 现场互动答疑，针对参会工程师在产线遇到的管路、阀门难题进行一对一技术交流。

本次讲座采用线下会场为主，配套线上同步直播的形式。讲座现场将陈列富士金超高纯波纹管阀实物样品，参会人员可近距离观察阀体结构、EP 抛光内壁与波纹管组件。技术团队现场接受样品评估、工况方案咨询。