KASHIYAMA樫山工业MU100X耐加工干式真空泵能够很好地应对芯片、FPD的大口径化通过高速排气缩短节拍时间通过组合可实现大排气量化。满足超过15万L/min的要求。通过确保大气侧排气速通过大型负载锁定室的高速排气缩短节拍时间。
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KASHIYAMA樫山工业MU100X耐加工干式真空泵
采用立式螺杆和特殊材料的高耐腐蚀性、采用单螺杆形状实现节能、多样化的产品线可满足所有流程
多种温度变化可满足多种工艺需求,并通过20000L/min等级比本公司减少35%的足迹新的加热器系统进一步提高工艺耐用性
符合各种要求规格的产品规格以安全标准和安全设计为首要任务的高可靠性设计
DX节能/严酷工艺兼容机、SDT/SDH耐工艺/超严酷工艺兼容机
不使用N2吹扫时的值。 最终运行时功耗的近似值。 封装尺寸。请索取外部图纸以了解详细尺寸。
规格/型号 | MU100X | MU180X | MU300X | MU600X | MU1218X | MU20N18X |
最大抽速 [L/min] *1 | 1,660 | 3,000 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
极限压力 [Pa] *1 | 1.5 | 0.5 | ||||
电源电压 (50/60Hz) | 三相AC200~220V *2 | |||||
消耗功率 [kW] *3 | 0.35 | 0.5 | 0.55 | 0.6 | 0.9 | 1.0 |
外形尺寸 [mm] 长×宽×高*4 | 450×230×275 | 550×280×299 | 450×230×520 | 530×230×520 | 870×380×751 | 1000×450×950 |
质量[公斤] | 60 | 95 | 100 | 120 | 270 | 410 |
我司代理及优势品牌一览明细:
代理品牌:CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山
优势品牌:USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计,恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪,接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。